- 商品名稱：PDC200/210/510等離子清洗機
- 商品編號：YQC001172
- 品牌：YAMATO雅馬拓
- 上架時間：2019-08-01
- 商品毛重：0克
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高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）
電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng)多種用途。
用途
● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝
特征
● DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）
● RIE模式
● 均勻性高的電極構(gòu)造
● 操作簡單的觸摸屏控制器
內(nèi)槽
構(gòu)成圖
DP模式
PDC510標配）
PDC200/210選配）
RIE模式
規(guī)格
型號
PDC200
PDC210
PDC510
等離子模式
RIE（DP模式選配）
電極構(gòu)造
平行平板（固定）
高頻輸出
Max300W
Max500W
頻率
13.56MHz
控制·顯示
液晶觸摸屏
反應(yīng)室尺寸
W400×D250×H150mm
W500×D300×H200mm
電極尺寸
W250×D170mm
W400×D200mm
反應(yīng)室材質(zhì)
鋁
反應(yīng)氣體
2系統(tǒng)（Ar、O 2 ）
填充氣體
N 2 或干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制
流量計
聚合控制器
真空泵
另行選配
油泵（約345L/分）標配
油泵（約500L/分）標配
氣體導(dǎo)入口
反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個
外形尺寸
W540×D600×H600mm
W540×D600×H600mm
W700×D700×H1285mm
重量
約100kg
約105kg
約180kg
電源
單相 AC100V 10A
三相AC200V 6A
三相AC200V 8A
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