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湖南弘林科學(xué)儀器有限公司


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PDC200/210/510等離子清洗機
PDC210
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PDC200/210/510等離子清洗機

適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機
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  • 商品名稱:PDC200/210/510等離子清洗機
  • 商品編號:YQC001172
  • 品牌:YAMATO雅馬拓
  • 上架時間:2019-08-01
  • 商品毛重:0克
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高頻輸出 300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型) 

電極尺寸 250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)


使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號,調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對應(yīng)多種用途。

用途
● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝


特征
● DP模式(PDC510標配·PDC200/210選配)
● RIE模式
● 均勻性高的電極構(gòu)造
● 操作簡單的觸摸屏控制器

內(nèi)槽



構(gòu)成圖


DP模式                                 
PDC510標配)
PDC200/210選配)





RIE模式


規(guī)格

型號
PDC200
PDC210
PDC510
等離子模式 
RIE(DP模式選配)


電極構(gòu)造
平行平板(固定)


高頻輸出
Max300W
Max500W

頻率
13.56MHz


控制·顯示
液晶觸摸屏


反應(yīng)室尺寸
W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm
電極尺寸
W250×D170mm 

W400×D200mm
反應(yīng)室材質(zhì)



反應(yīng)氣體
2系統(tǒng)(Ar、O 2 )


填充氣體
N 2 或干燥空氣


反應(yīng)氣體流量控制
流量計
聚合控制器

真空泵
另行選配
油泵(約345L/分)標配
油泵(約500L/分)標配
氣體導(dǎo)入口
反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個


外形尺寸
W540×D600×H600mm
W540×D600×H600mm
W700×D700×H1285mm
重量
約100kg
約105kg
約180kg
電源
單相 AC100V 10A 
三相AC200V 6A
三相AC200V 8A



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