- 商品名稱：PR500/510等離子灰化機|PR500/510等離子清洗機
- 商品編號：YQC001171
- 品牌：YAMATO雅馬拓
- 上架時間：2021-06-23
- 商品毛重：0克
如果您發(fā)現(xiàn)商品信息不準(zhǔn)確，歡迎糾錯；高頻輸出 50~500W 反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子
PR500：手動控制
PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途
●去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)
特征● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
內(nèi)槽
硅晶圓灰化狀態(tài)
規(guī)格
型號
PR500
PR510
模式
DP模式，桶型
控 制 部
高頻輸出功率
Max500W
頻率
13.56MHz
同調(diào)方式
自動協(xié)調(diào)
反 應(yīng) 部
反應(yīng)腔
石英 Φ215×305mm
反應(yīng)氣體
2系統(tǒng)（O 2 ／CF 4 ）
控制
手動
觸摸屏自動控制
配管材質(zhì)
不銹鋼、特氟龍
外形尺寸
W438×D520×H760mm
參照規(guī)格書
重量
約60kg
參照規(guī)格書
電源
單相AC100V 9A
三相AC200V 8A
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