雅馬拓 潔凈厭氧高溫氣氛爐 DTN430C/630C/450C/650C

• 商品名稱：雅馬拓 潔凈厭氧高溫氣氛爐 DTN430C/630C/450C/650C
• 商品編號：YQC002143
• 品牌：YAMATO雅馬拓
• 上架時間：2021-06-21
• 商品毛重：0克

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潔凈厭氧高溫氣氛爐

DTN430C/630C/450C/650C

潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。

特點

• 最高工作溫度360℃和500℃。
• 采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
• 高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。
• 磁密封保持高氣密性，采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
• 可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調節(jié)。
• 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。

安全性

• 門檢測開關
• 溫度過升防止器
• 氧濃度異常安全裝置
• 氮氣壓力檢測
• 氮氣流量檢測
• 冷卻水流量檢測
• 漏水傳感器
• 過電流漏電漏電保護開關

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